ÜÇ-EKSENLİ MİKRO/NANO-KONUMLAMA SİSTEMİNİN DOĞRUSAL MOTOR KONTROLÜ YÖNTEMLERİ KULLANARAK GELİŞTİRİLMESİ

Tamamlanmış Proje

TUBITAK

PROJE SÜRESİ

Başlangıç Tarihi: 1 Ekim 2010
Tamamlanma Tarihi: 1 Ekim 2012

GURUPLAR

ÖZET

Mikro-/nano-teknoloji uygulamalarında hassas konumlama sistemlerine olan ilgi giderek artmaktadır. Üç-eksenli yüksek hassasiyetli konumlama gerektiren başlıca alanlar arasında mikro-/nano-boyutta üretim ve montaj, optik cihaz hizalama sistemleri, tarama mikroskopu uygulamaları, nano-parçacık yerleştirme uygulamaları, hücre/doku mühendisliği uygulamaları sayılabilir. Mikro-/nano-teknoloji ekipmanına olan artan talebi karşılamak için önümüzdeki yıllarda daha fazla sayıda hassas konumlama sistemine ihtiyaç olacaktır. Projenin amacı yüksek hassasiyetli üç-eksenli bir kızağın tasarımı ve birleştirilmesidir. Kızakların birbirinden bağımsız olarak kontrolüyle birlikte, sistem düzeyinde, cihazın bütün dinamiğini göz önünde bulundurarak Çoklu-girişli çoklu-çıkışlı bir kontrol yapısı tasarlanacaktır.

Üç-Eksenli Mikro/Nano-Konumlama Sisteminin Doğrusal Motor Kontrolü Yöntemleri Kullanarak Geliştirilmesi